真空镀膜设备存有着气密性差的问题，假如镀膜设备维护保养进行后,能做一次气密性试验,就可以规避许多不合格产品的造成,做到节省成本费用的效果.
下边我们一起掌握，真空镀膜设备应该用氦质谱检漏仪做检漏的原因分析：
镀膜设备应该在高真空下工作，真空值的优劣可以直接危害表层的镀膜的质量。有时镀膜设备的真空值抽不出来或是真空值不太好，可能是连接头松脱或是有焊接发生脱焊。传统式的气密性试验方式应该镀膜设备关机，充氮，再在猜测有漏的位置涂上肥皂泡，整个过程用时费事极易错判，针对微小的泄露没法检验。诺益氦质谱检漏仪运用氦气做为示踪气体，小漏率低于5E-1Pam/s，安全环保，检漏时无需关机，立即在机械泵的旁通连接测漏仪便可以迅速有效的进行检验了。
下面对比几个真空镀膜机的检漏方法：
1.氦质谱检漏
该工艺是真空镀膜机真空检漏技术里不可缺少的一种技术，因为检漏高效率，简单易使用，仪器设备反映灵敏，高精度，不容易受别的气体的影响，在检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氮气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和吸气系统及电气一部分等构成。质谱分析室里的钨丝发送出去的电子，在房间内不停地震荡，并与房间内空气和经漏孔进入到屋内的氦气互相撞击使其水解成共价键，这种氦离子在加快静电场的作用下进入到磁场，因为洛伦兹力作用产生偏转，产生圆弧状轨道，更改加速电压可使不一样品质的离子通过磁场和接受缝抵达接收极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中最经常使用的这两种方式。
采用真空法检漏，镀膜机不需要停机，直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪，在怀疑有漏的地方喷氦气，即可完成检漏。
2.真空封泥检测法
将真空泥逐个封住可疑漏点，注意观察真空镀膜机真空度的变化，假如贴上真空封泥真空度提升很快，取掉有明显下降，说明这是一个漏点。这种方法在实际应用中，采用的比较少。
.真空计检漏法
有些真空镀膜机真空计的读数，与气体种类有关，比如热偶计，电离真空计。选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。用于热偶计的示漏物质有，二氧化碳，丁烷，酒精等热偶计反应较慢，观察要很仔细。用于电离计的示漏物质有氦，氩，酒精等。
4.高频火花检漏
这种方法仅适用于玻璃真空系统。先将真空镀膜机镀膜系统抽成真空，高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动，火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。
真空系统是镀膜机达到工艺条件的最基本设备，其真空度达不到或者达到真空度速度慢，都有可能是由于存在漏点所致，所以真空卷绕镀膜机设备的真空系统需要定期真空检漏。真空卷绕镀膜机通常采用氦质检漏仪来查漏，主要用负压法检漏即将氦质谱检漏仪的检漏口接入镀膜机的真空系统，在可能泄漏地方喷氦检漏。
安徽诺益科技提供氦质谱检漏仪完整的产品线,广泛应用在真空镀膜行业氦检，从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块,提供负压检漏(真空法)和正压检漏(吸枪法),满足各种应用.氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比,在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率5E-1Pam/s,利用氦气作为示踪气体可精确定位,定量漏点.氦质谱检漏仪满足单机检漏,也可集成在检漏系统或PLC.
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